由于
羅茨液環泵真空機組具有優良的抽氣特性（在低壓下具有大的抽速），且在羅茨液環泵真空機組的極限真空范圍內使用羅茨真空機組作為后級泵，總能比前級真空泵提高一個數量級的真空度（如前級真空度為100Pa那未使用羅茨液環泵真空機組作后級泵，就可提高到10Pa,余類推）。由于
羅茨液環泵真空機組的轉子與轉子，轉子與泵腔均無機械接觸，無需潤滑，故其功率損耗就明顯小于具有相同抽速的其他類機械真空泵。又由于機組配備雙極水環泵作為前級泵，所以對抽除具有一定腐蝕性，含水蒸氣量大的工業流程特別適宜。
羅茨液環泵真空機組由多臺真空設備組成，前級泵選用水環泵對于使用更有利，有效克服了單臺水環泵使用時的極限壓力差，提高了工作效率，另外它的使用還具有以下優點：
1、羅茨液環泵真空機組作業平穩、噪聲低、振小、極限真空度高。因為泵的傳動部件采用牢靠的消隙構造，泵可高壓差下長時間作業。起動快，能在短時間內到達極限真空。所以泵腔內無相互滑動的零件，無需用油潤滑，避免了油蒸汽對系統的污染。
2、發動快，耗功少，作業維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少數水蒸汽和塵埃不靈敏，在100～1帕壓力規模內有較大抽氣速率。
3、羅茨液環泵真空機組選水環用泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，它克服了單臺水環泵使用時極限壓力差，在必定壓力下抽氣速率低的缺陷，一起保留了羅茨泵能敏捷作業，有較大抽氣速率的長處。
