旋片真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)樵摍C(jī)組的結(jié)構(gòu)緊湊、抽速大、占地面積小，所以可以代替多臺機(jī)械真空泵,因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)的也不會含有顆粒塵埃的氣體。
立式無油往復(fù)泵機(jī)組以ZJ泵為主泵，以WLW型方式無油泵為前級泵串聯(lián)而成，由于WLW型真空泵采用無油自潤滑系統(tǒng)，這樣可以獲得潔凈真空，這樣在加裝尾氣收集裝置后，可以收集在高真空系統(tǒng)中無法凝固、無法壓縮收集的氣體，而又同時避免了水環(huán)機(jī)組所產(chǎn)生的大量廢水的排放而導(dǎo)致污染環(huán)境的問題。
