市場上山現(xiàn)了各種不同設(shè)計的干式真空泵。這些設(shè)計包括各種螺桿式、旋片式和多級爪式。這些新技術(shù)(或已有技術(shù)的改
進)隨著上對環(huán)保要求的提高得到廠較快的發(fā)展，傳統(tǒng)的油潤滑真空設(shè)備(如旋片泵)和液環(huán)真空泵的設(shè)計已經(jīng)不能滿
足減少污染物的要求。
干式真空泵革命性的特點
(1)兩個電動機同步驅(qū)動，在確保全速和轉(zhuǎn)矩控制的同時，保證在泵運行時維持無部件相互接觸。
(2)無密封設(shè)計，確保無泄漏。
(3)通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的A-TEX防爆條例的要求。由于能夠維持zui小的內(nèi)部溫度，從而能控制泵送氣體的冷
凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)。
(4)zui小的維護要求，該泵無齒輪箱，同時對于泵無需更換和檢測潤滑系統(tǒng)。具有20 000h平均*時間。
(5)*電子智能化設(shè)計，可以很方便地與DCS系統(tǒng)聯(lián)接，通過Modem連接可以實現(xiàn)就地和遠程控制。
(6)輔助模塊的模塊化設(shè)計可以滿足大量的乃至是zui苛刻的流程的應(yīng)用。
(7)設(shè)計可以滿足不同的壓力要求：壓力比可高達100 000：1(吸入壓力＜0．01絕壓)。
(8)吸氣量可達1000 m3/h(更大吸氣量的泵在開發(fā)中，臼前可用機械的增壓泵與干式泵組合來滿足對大的吸氣量的要求)。
(9)噪聲水平低于75 dH(A)。
(10)維修方便，可以快速和方便地拆卸和更換泵的內(nèi)件。
干式真空系統(tǒng)流程及應(yīng)用
典型的于式真空系統(tǒng)(見圖1)由SIHldry，凈化氣體模塊、吸入管線模塊(可選)、冷卻水循環(huán)模塊、氣體冷卻模塊、驅(qū)動控
制柜組成。模塊化設(shè)計的靈活性可以使SIHIdry應(yīng)用于所有流程，尤其對于吸入壓力達1Pa以下，處理介質(zhì)為含水分和灰塵
、腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體等工況尤為合適，在化工、制藥、電子等需要潔凈真空的行業(yè)有廣泛的應(yīng)用。所
有必需的元件可以集成在一個標(biāo)準(zhǔn)的系統(tǒng)中，丌位于泵內(nèi)、通過內(nèi)部冷卻水回路，可以地控制內(nèi)部溫度，從而防止介
質(zhì)的冷凝、結(jié)晶和溶液的燃燒。
*安裝好的電氣和機械界面非常友好，驅(qū)動和控制可以*集成在標(biāo)準(zhǔn)的機組中。各種不同的界面可以添加到已有的系
統(tǒng)和流程中；驅(qū)動控制可以保護機器以防應(yīng)用巾的故障—例如，當(dāng)輸送含液體的介質(zhì)時，泵的速度可以自動減少以輸送該
介質(zhì)。當(dāng)不含液體時，泵的速度將回歸到設(shè)定值。這同樣適用于輸送固體和粉末的場合。LCD顯示器可以給十轉(zhuǎn)子的沉積
物和沖洗的效果。
